手动晶圆ID和晶圆架ID读取机
手动晶圆ID和晶圆架ID读取机
性能 :
  • 手动装载 / 卸载晶圆
  • 真空叉形机械手和伯努利式机械手(选项)
  • 工业电脑控制
  • 可调整相机的高度