全自动晶圆贴膜机
全自动晶圆贴膜机-W2800型号
性能 :
  • 可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟
  • 对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描
  • 晶圆斜片刻痕检测
  • 自动从晶圆盒中拾取晶圆
  • 先进的4轴机械臂,包括马达驱动的反转器
  • 智能视觉晶圆定位
  • 智能晶圆ID读取
  • SEC-GEMS兼容