全自动晶圆输送机
全自动晶圆输送机-W2000型号
性能 :
  • 兼容 FOSB 和 FOUP
  • 真空叉形机械手和伯努利式机械手(选项)
  • 智能视觉晶圆定位
  • 晶圆ID光学字符识别(选项)
  • 晶圆背面大缺陷检测
  • 可集成显微镜检查(选项)
  • 可兼容晶圆输送盒(选项)