全自动晶圆ID和晶圆架ID读取机
全自动晶圆ID和晶圆架ID读取机
性能 :
  • 高级光学字符识别系统
  • 自动光源优化
  • 自动晶圆框架ID读取(条形码阅读)
  • 自动的晶圆盒到晶圆盒传输
  • 工业电脑控制
  • 手动输入ID(For Degrated Wafer ID)
  • 主机接口